그룹은 반도체 장치의 성능과 처리 (필름 속성 개선) 프로세스에 영향을 미치는 증착 프로세스를 중심으로하는 비즈니스를 운영합니다. 이러한 프로세스는 단일 웨이버와 배치 처리의 두 가지 유형으로 나눌 수 있습니다. 단일 웨이버 처리는 한 번에 하나의 웨이버의 증착을 말하는 반면, 배치 처리는 한 번에 수십 개의 파의 증착이므로 더 생산적입니다. 슬롯 사이트 그룹의 배치 증착 및 단일 웨이퍼 처리 장비는 전세계 반도체 장치 제조업체로부터 높은 수용을 받았으며 세계에서 가장 높은 점유율을 자랑합니다.

컴퓨터 및 스마트 폰과 같은 전통적인 소비자 장치에서 데이터 센터, 차세대 모바일 커뮤니케이션 시스템 및 AI^*1, 반도체 장치 시장은 확장을 경험하고 있습니다. 이로 인해 더 복잡한 3 차원 구조가있는 반도체 장치가 발생했습니다. 반도체 장치의 이러한 진화에 대한 응답 으로이 그룹은 깊고 좁고 좁은 고분자가 많은 파도에 사용할 수있는 나노 스케일 증착 슬롯 게임을 개발하고 향상시켜 전세계 반도체 장치 제조업체의 요구를 충족시켰다.^*2트렌치와 구멍 및 혈장 및 열을 적용하여 필름 특성을 향상시키는 처리 슬롯 게임.

이 슬롯 게임은 밤새 개발 된 것이 아니라 Thermofluid 역학, ​​기계 공학, 제어 엔지니어링, 전기 및 전자 공학에서 재료 공학, 물리 공학 및 플라즈마 엔지니어링에 이르기까지 광범위한 분야를 결합한 결과입니다. 현 상태에 만족하지 않으며, 슬롯 사이트는 각 분야의 슬롯 게임을 지속적으로 개선하고 병합하여 고객의 요구를 충족시키는 혁신을 생성합니다.

ald (원자 층 증착)^*3슬롯 게임은 뛰어난 단계 커버리지로 고품질 박막을 형성 할 수있는 매우 어려운 슬롯 게임입니다^*4. 반도체 장치가 발전함에 따라 기술에 대한 요구가 커집니다. ALD 기술은 여러 가스의 주기적 공급을 요구하기 때문에 증착은 시간이 많이 걸리고 생산적이지 않습니다. 이것에 대한 슬롯 사이트의 해결책은 배치 증착으로, 한 번에 수십 개의 파에 대한 증착을 가능하게했습니다. 이 그룹의 배치 ALD 슬롯 게임은 ALD 기술과 배치 증착 기술을 결합하여 매우 어려운 박막 형성과 생산성이 높은 균형을 이룹니다. 이를 통해 높은 생산성과 뛰어난 단계 적용 범위를 갖는 증착, 심지어 많은 수의 높은 비율 트렌치와 구멍이있는 파도에서도 반도체의 진화하는 요구를 충족시키고 응용 프로그램을 확장 할 수있는 가장 논리적 인 솔루션을 제공합니다.

처리 (필름 속성 개선) 슬롯 게임은 필름에서 불순물을 제거하고 혈장 및 퇴적 후 열로 입자를 안정화시켜 필름 특성을 향상시킵니다. 반도체 장치가 더 미세하고 복잡 해짐에 따라 저온 환경에서의 증착 수요가 증가했습니다. 저온 환경에서 필름 특성을 개선하기위한 솔루션으로서 치료 슬롯 게임의 수요가 증가했습니다.

이 그룹은 새로운 슬롯 게임로 치료 슬롯 게임을 개발하는 데 노력에 중점을 둡니다. 슬롯 사이트는 반도체 장치가 Harmsh 조건에서도 만족스럽게 수행 할 수 있도록 기존 박막의 품질을 높이기 위해 치료 슬롯 게임을 개발했습니다. 예를 들어, 많은 양의 반응성 종을 공급하기위한 프로세스를 개발해 주셔서 감사합니다. 3D-Nand에서도 200 개가 넘는 층의 깊은 구멍이있는 뛰어난 단계 커버리지로 처리 방법을 제공 할 수 있었으며 주요 메모리 제조업체가 채택했습니다. 슬롯 사이트는 새로운 성분으로 반응성 종 유형과 현상의 시뮬레이션을 모니터링하고 수행하고,보다 적합한 처리 방법을 개발하기 위해 반응 모델을 분석하고 있습니다.