온라인 슬롯 Electric의 강점

반도체 제조의 많은 프로세스 중에서이 그룹은 반도체 장치의 성능에 영향을 미치는 필름 증착 프로세스 및 처리 (필름 품질 개선) 프로세스에 중점을 둔 비즈니스를 개발합니다. 이러한 공정에는 단일 파 및 배치 파 방법이 포함되는 반면 단일 파 방법은 단일 웨이퍼를 형성하는 반면, 배치 파 방법은 높은 생산성을 특징으로하여 수십 개의 웨이퍼를 한 번에 증착 할 수 있습니다. 이러한 공정 기술을 지원하는 슬롯 사이트 그룹의 배치 필름 증착 장비 및 단일 공급 처리 장비는 전 세계의 반도체 장치 제조업체로부터 높은 평가를 받았으며 세계적 수준의 공유를 보유하고 있습니다.

온라인 슬롯 장치 시장은 기존 PC 및 스마트 폰과 같은 소비자, 데이터 센터, 차세대 모바일 커뮤니케이션 시스템, AI^*1와 같은 고성장 산업으로 수요가 변화하고 확장되고 있으며, 결과적으로 온라인 슬롯 장치의 구조가 더욱 복잡하고 3 차원이되고 있습니다. 온라인 슬롯 장치의 이러한 진화를 수용하기 위해, 슬롯 사이트 그룹은 좁고 깊고 높은 종횡비를 가지고 있습니다.^*231666_31766

슬롯 사이트 그룹의 이러한 기술은 열수 역학, 기계 공학, 제어 엔지니어링, 전기 및 전자 공학, 재료 공학, 물리 공학, 플라즈마 엔지니어링의 정점이며 밤새 재배되지 않습니다. 슬롯 사이트는 현재 상황에 만족하지 않지만 각 분야에서 매일 기술을 연마하고이를 결합함으로써 고객의 요구를 충족시키기위한 혁신을 만듭니다.

ald (원자 층 증착)^*3고품질 박막에 대한 기술 단계 커버리지^*4이것은 쉽게 형성 될 수있는 매우 어려운 기술이며 반도체 장치가 발전함에 따라 그 필요성이 증가하고 있습니다. 이 ALD 기술은 주기적으로 여러 가스를 공급하여 필름을 입금하는 데 시간이 걸렸으므로 생산성 문제가 발생했습니다. 대조적으로, 한 번에 수십 개 이상의 웨이퍼에서 필름 형성을 허용하는 배치 필름 형성 기술의 높은 생산성은 효과적인 솔루션이다. ALD 기술과 배치 필름 형성 기술을 결합한 슬롯 사이트 그룹의 배치 ALD 기술은 어려운 박막 형성과 높은 생산성을 결합하여 높은 생산성이 높고 종횡비가 높은 많은 그루브 및 구멍으로 웨이퍼에 대한 필름 형성을 허용하여 세미 노트 튜터의 진화에 대응하고 넓은 범위의 응용 분야로 반응하기위한 가장 논리적 인 솔루션입니다.

처리 (필름 품질 개선) 기술은 필름 형성 후 혈장 또는 열을 적용하여 필름의 불순물을 제거하고 필름 품질을 향상시키기 위해 필름의 불순물을 제거하는 기술입니다. 온라인 슬롯 장치가보다 작고 복잡 해짐에 따라 저온 환경에서 필름 형성에 대한 수요가 증가하고 있으며, 치료 기술도 저온 환경에서 필름 품질 향상을 가능하게하는 솔루션으로 증가하고 있습니다.

그룹은 새로운 방법을 사용하여 처리 기술 개발에 중점을두고 있으며, 온라인 슬롯 장치가 심각한 조건에서도 원하는 성능을 달성 할 수 있도록 기존 박막의 품질을 향상시키는 처리 방법을 개발하고 있습니다. 예를 들어, 반응성 종의 풍부한 공급을 제공하는 프로세스를 개발함으로써, 200 개 이상의 깊은 구멍이있는 3D-Nand의 경우에도 우수한 단계 커버리지를 갖는 가공 방법을 제공하며 주요 메모리 제조업체가 채택하고 있습니다. 슬롯 사이트는 또한 새로운 원료를 사용하여 반응 종의 유형과 현상을 모니터링하고 시뮬레이션하고,보다 적절한 치료 방법을 개발하기 위해 반응 모델을 분석하고 있습니다.